Plasma processing apparatus and plasma processing method

WO2010008006 Art A1 21. Januar 2010

Anmelder: Sumitomo Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010008006
Aktenzeichen: EP09797931
Anmeldetag: 15. Juli 2009
Veröffentlichung: 21. Januar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/46H01L21/265H05H1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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