Power introduction terminal for plasma processing device and plasma processing device

WO2010008076 Art A1 21. Januar 2010

Anmelder: Sharp Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010008076
Aktenzeichen
EP09798000
Anmeldetag
17. Juli 2009
Veröffentlichung
21. Januar 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/205H05H1/46
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sharp Kabushiki Kaisha
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sharp

Japanischer Elektronikkonzern mit Sitz in Sakai bei Osaka, seit 2016 mehrheitlich zu Foxconn gehörend. Aktiv in Displaytechnik (LCD, OLED), Unterhaltungselektronik, Haushaltsgeräten sowie Halbleiter- und Solartechnologie.

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