Adaptive fly-eye and other mirrors for extreme ultraviolet and other optical systems

WO2010008993 Art A1 21. Januar 2010

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010008993
Aktenzeichen: EP09790186
Anmeldetag: 9. Juli 2009
Veröffentlichung: 21. Januar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B26/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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