Phase mask and method of fabrication

WO2010009323 Art A2 21. Januar 2010

Anmelder: The Board of Regents of The University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010009323
Aktenzeichen: EP09798756
Anmeldetag: 16. Juli 2009
Veröffentlichung: 21. Januar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Board of Regents of The University of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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