Work cutting method and wire saw

WO2010010656 Art A1 28. Januar 2010

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010010656
Aktenzeichen
EP09800173
Anmeldetag
18. Juni 2009
Veröffentlichung
28. Januar 2010
Rechtsraum
WO
IPC
B24B27/06H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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