Charged corpuscular ray apparatus

WO2010010771 Art A1 28. Januar 2010

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010010771
Aktenzeichen: EP09800286
Anmeldetag: 15. Juni 2009
Veröffentlichung: 28. Januar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/26H01J37/21H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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