Apparatus and method for manufacturing thin film solar cell, and thin film solar cell

WO2010010956 Art A1 28. Januar 2010

Anmelder: Ulvac, Inc., National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010010956
Aktenzeichen: EP09800470
Anmeldetag: 24. Juli 2009
Veröffentlichung: 28. Januar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L31/04C23C16/24C23C16/509C23C16/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Ulvac, Inc.
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

3.785 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von