Workpiece support for a plasma reactor with controlled apportionment of rf power to a process kit ring

WO2010011521 Art A2 28. Januar 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010011521
Aktenzeichen: EP09800799
Anmeldetag: 13. Juli 2009
Veröffentlichung: 28. Januar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/34H05H1/38H01L21/3065H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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