Computer-implemented methods for inspecting and/or classifying a wafer
WO2010011578
Art A2
28. Januar 2010
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010011578
- Aktenzeichen
- EP09800835
- Anmeldetag
- 17. Juli 2009
- Veröffentlichung
- 28. Januar 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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