Transfer robot control method

WO2010013422 Art A1 4. Februar 2010

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010013422
Aktenzeichen: EP09802671
Anmeldetag: 23. Juli 2009
Veröffentlichung: 4. Februar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677B25J9/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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