Metal nano-ink, process for producing the metal nano-ink, and die bonding method and die bonding apparatus using the metal nano-ink
Anmelder: Shinkawa Ltd., Tohoku University, Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010013588
- Aktenzeichen
- EP09802831
- Anmeldetag
- 8. Juli 2009
- Veröffentlichung
- 4. Februar 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/60B22F1/02H01L25/065H01L25/07H01L25/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Shinkawa Ltd.
Tohoku University
Ulvac, Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
Shinkawa ist ein japanischer Hersteller von Bondanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Musashimurayama. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Elektronik, ergänzt um Mess- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen betreffen überwiegend Montagevorrichtungen und zugehörige Steuerprogramme.
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