Optimization of focused spots for maskless lithography

WO2010014165 Art A1 4. Februar 2010

Anmelder: Corning Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010014165
Aktenzeichen: EP09788967
Anmeldetag: 21. Juli 2009
Veröffentlichung: 4. Februar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Corning Incorporated
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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