Computer-implemented methods, computer-readable media, and systems for classifying defects detected in a memory device area on a wafer
WO2010014609
Art A2
4. Februar 2010
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010014609
- Aktenzeichen
- EP09803482
- Anmeldetag
- 28. Juli 2009
- Veröffentlichung
- 4. Februar 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G06F19/00G06F11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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