Transmittierendes Optisches Element aus Magnesium-Aluminium-Spinell

WO2010015296 Art A2 11. Februar 2010

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010015296
Aktenzeichen: EP09776814
Anmeldetag: 24. Juni 2009
Veröffentlichung: 11. Februar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C04B35/443G02B1/02G02B13/14G03F7/20C30B29/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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