Standard member for correction, scanning electron microscope using same, and scanning electron microscope correction method

WO2010016211 Art A1 11. Februar 2010

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010016211
Aktenzeichen: EP09804698
Anmeldetag: 31. Juli 2009
Veröffentlichung: 11. Februar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G01B15/00G01B3/30H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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