Silicon substrate etching method

WO2010016330 Art A1 11. Februar 2010

Anmelder: Sumitomo Precision Products Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010016330
Aktenzeichen: EP09804817
Anmeldetag: 10. Juni 2009
Veröffentlichung: 11. Februar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: B81C1/00A61M37/00H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Precision Products Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Precision Products

Sumitomo Precision Products ist ein japanischer Hersteller von Präzisionskomponenten mit Sitz in Amagasaki, der zur Sumitomo-Unternehmensgruppe gehört und unter anderem Fahrwerke für Flugzeuge sowie Wärmetauscher fertigt. Das Patentportfolio verteilt sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente, Kühltechnik und Mess- und Prüftechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Medizintechnik & Gesundheit

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