Light source device, surface inspecting apparatus using the device, and method for calibrating surface inspecting apparatus using the device

WO2010016386 Art A1 11. Februar 2010

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010016386
Aktenzeichen: EP09804873
Anmeldetag: 15. Juli 2009
Veröffentlichung: 11. Februar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/93G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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