Inspection device

WO2010016504 Art A1 11. Februar 2010

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010016504
Aktenzeichen
EP09804987
Anmeldetag
29. Juli 2009
Veröffentlichung
11. Februar 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66G01R31/302
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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