Inspection device
WO2010016504
Art A1
11. Februar 2010
Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010016504
- Aktenzeichen
- EP09804987
- Anmeldetag
- 29. Juli 2009
- Veröffentlichung
- 11. Februar 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66G01R31/302
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi High-Technologies Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
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