Bonding device, bonding device correction amount calculation method, and bonding method

WO2010016570 Art A1 11. Februar 2010

Anmelder: Shinkawa Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010016570
Aktenzeichen
EP09805052
Anmeldetag
7. August 2009
Veröffentlichung
11. Februar 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/52H05K13/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shinkawa Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shinkawa

Shinkawa ist ein japanischer Hersteller von Bondanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Musashimurayama. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Elektronik, ergänzt um Mess- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen betreffen überwiegend Montagevorrichtungen und zugehörige Steuerprogramme.

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