Polishing systems and methods for removing conductive material from microelectronic substrates

WO2010016993 Art A1 11. Februar 2010

Anmelder: Micron Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010016993
Aktenzeichen: EP09790232
Anmeldetag: 9. Juli 2009
Veröffentlichung: 11. Februar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/321H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Micron Technology, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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