Environmentally Friendly Polymer Stripping Compositions

WO2010017160 Art A2 11. Februar 2010

Anmelder: Advanced Technology Materials, Inc., Atmi Taiwan Co., Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010017160
Aktenzeichen: EP09805414
Anmeldetag: 4. August 2009
Veröffentlichung: 11. Februar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/30G03F7/42H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Advanced Technology Materials, Inc.
Atmi Taiwan Co., Ltd.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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