Method for completely eliminating charge trap from the source (or drain) and the bulk region of a vertical transistor

WO2010018912 Art A1 18. Februar 2010

Anmelder: Korea Advanced Institute of Science and Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010018912
Aktenzeichen
EP09806774
Anmeldetag
22. April 2009
Veröffentlichung
18. Februar 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01L29/78
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Korea Advanced Institute of Science and Technology
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 KAIST

Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.

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