Changing effective work function using ion implantation during dual work function metal gate integration

WO2010019495 Art A1 18. Februar 2010

Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010019495
Aktenzeichen
EP09807120
Anmeldetag
10. August 2009
Veröffentlichung
18. Februar 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/8238
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
International Business Machines Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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