Electron detection device and scanning electron microscope
WO2010021012
Art A1
25. Februar 2010
Anmelder: Advantest Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010021012
- Aktenzeichen
- EP08808280
- Anmeldetag
- 20. August 2008
- Veröffentlichung
- 25. Februar 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/244
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Advantest Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Advantest
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.
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Fachgebiete
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