Surface-treated ceramic member, method for producing same, and vacuum processing device

WO2010021260 Art A1 25. Februar 2010

Anmelder: ULVAC, INC., Ferrotec Ceramics Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010021260
Aktenzeichen: EP09808196
Anmeldetag: 10. August 2009
Veröffentlichung: 25. Februar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C04B41/84C01B33/12C23C18/02H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ULVAC, INC.
Ferrotec Ceramics Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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