Method for determining service limit of electrostatic chuck

WO2010021317 Art A1 25. Februar 2010

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010021317
Aktenzeichen: EP09808253
Anmeldetag: 17. August 2009
Veröffentlichung: 25. Februar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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