Spectral purity filter, lithographic apparatus including such a spectral purity filter and device manufacturing method

WO2010022840 Art A1 4. März 2010

Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010022840
Aktenzeichen: EP09777516
Anmeldetag: 29. Juli 2009
Veröffentlichung: 4. März 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G21K1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands BV
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML Netherlands

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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