Coating chamber with a moveable shield
WO2010023109
Art A1
4. März 2010
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010023109
- Aktenzeichen
- EP09781820
- Anmeldetag
- 13. August 2009
- Veröffentlichung
- 4. März 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/50C23C14/56C23C16/458H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Kanzlei
LangPatent Anwaltskanzlei IP Law Firm
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LangPatent Anwaltskanzlei wird von Dr.-Ing. Christian Lang geleitet und sitzt im Münchner Norden. Die international ausgerichtete Kanzlei begleitet Patent-, Marken- und Designangelegenheiten von der Anmeldung bis zur gerichtlichen Durchsetzung, mit einem Team aus Wissenschaftlern, Ingenieuren und fremdsprachigen Fachkräften.
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