Laser apparatus, phototherapeutic apparatus, exposure apparatus, device manufacturing method and apparatus for inspecting subject to be inspected

WO2010023841 Art A1 4. März 2010

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010023841
Aktenzeichen: EP09809497
Anmeldetag: 18. August 2009
Veröffentlichung: 4. März 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/10A61B18/20A61F9/007G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Medizintechnik & Gesundheit Optik & Fototechnik

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