Encoder system, signal processing method, and transmission signal generation output device

WO2010023896 Art A1 4. März 2010

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010023896
Aktenzeichen: EP09809552
Anmeldetag: 26. August 2009
Veröffentlichung: 4. März 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G01B21/22G01B7/30G01D5/244

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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