Degasification method for polymer film substrate and degasification apparatus

WO2010024018 Art A1 4. März 2010

Anmelder: Fuji Electric Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010024018
Aktenzeichen: EP09809673
Anmeldetag: 12. Juni 2009
Veröffentlichung: 4. März 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/02C08J7/00H01L31/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fuji Electric Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fuji Electric

Japanischer Elektrotechnikkonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Leistungshalbleiter, Energieerzeugungsanlagen und industrielle Automatisierungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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