Plasma processing device and method for cleaning plasma processing device

WO2010024036 Art A1 4. März 2010

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010024036
Aktenzeichen: EP09809691
Anmeldetag: 29. Juni 2009
Veröffentlichung: 4. März 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H01L21/205H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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