Computer generated hologram, exposure apparatus and device fabrication method

WO2010024075 Art A1 4. März 2010

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010024075
Aktenzeichen: EP09809729
Anmeldetag: 17. Juli 2009
Veröffentlichung: 4. März 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20G03H1/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

19.221 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von