Microfine structure and process for producing same

WO2010024117 Art A1 4. März 2010

Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010024117
Aktenzeichen: EP09809770
Anmeldetag: 12. August 2009
Veröffentlichung: 4. März 2010
Rechtsraum: WO
IPC: B82B3/00H01L21/3065C08F297/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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