Bulk image modeling for optical proximity correction

WO2010025005 Art A2 4. März 2010

Anmelder: Synopsys, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010025005
Aktenzeichen
EP09810427
Anmeldetag
31. Juli 2009
Veröffentlichung
4. März 2010
Rechtsraum
WO
IPC
G06F19/00H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Synopsys, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Synopsys

Synopsys ist ein US-amerikanischer Anbieter von Software für den Chip- und Systementwurf (EDA) mit Sitz in Kalifornien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Optik und Elektronik für Entwurfswerkzeuge. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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