Variable-Ratio Double-Deflection Beam Blanker

WO2010027368 Art A1 11. März 2010

Anmelder: Multibeam Systems, Inc., Tokyo Electron Limited 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010027368
Aktenzeichen: EP08821668
Anmeldetag: 8. September 2008
Veröffentlichung: 11. März 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G21K5/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Multibeam Systems, Inc.
Tokyo Electron Limited
Land: 🇺🇸 USA

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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