Cleaning solution formulations for substrates

WO2010028186 Art A1 11. März 2010

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010028186
Aktenzeichen: EP09812242
Anmeldetag: 3. September 2009
Veröffentlichung: 11. März 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C11D7/32

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe

Vertreten von