Method of etching using a multilayer masking structure

WO2010029138 Art A2 18. März 2010

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010029138
Aktenzeichen: EP09782889
Anmeldetag: 10. September 2009
Veröffentlichung: 18. März 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/033H01L21/308H01L21/3213G03F7/039

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Commissariat à l'Energie Atomique
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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