Method and device for synthesizing panorama image using scanning charged-particle microscope

WO2010029708 Art A1 18. März 2010

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010029708
Aktenzeichen: EP09812857
Anmeldetag: 2. September 2009
Veröffentlichung: 18. März 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/22G01B15/04H01J37/28H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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