Resist processing method and use of positive resist composition

WO2010029907 Art A1 18. März 2010

Anmelder: Sumitomo Chemical Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010029907
Aktenzeichen: EP09813053
Anmeldetag: 8. September 2009
Veröffentlichung: 18. März 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/40G03F7/004G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Chemical Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Petrochemie, Agrochemie, Pharmazeutika, Elektronikmaterialien, Energiematerialien und Kunststoffen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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