Feedback resonant actuation method for mems electrostatic actuators

WO2010031885 Art A1 25. März 2010

Anmelder: Universitat Politècnica De Catalunya 🇪🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010031885
Aktenzeichen: EP09814129
Anmeldetag: 17. September 2009
Veröffentlichung: 25. März 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01H59/00H01H3/22

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: Universitat Politècnica De Catalunya
Land: 🇪🇸 Spanien

🇪🇸 Universitat Politècnica de Catalunya

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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