Band saw cutting device and method of cutting ingot

WO2010032371 Art A1 25. März 2010

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010032371
Aktenzeichen
EP09814217
Anmeldetag
12. August 2009
Veröffentlichung
25. März 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304B23D55/08B24B21/20B28D5/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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