Thin film structural body and method for manufacturing the same

WO2010032530 Art A1 25. März 2010

Anmelder: Fuji Electric Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010032530
Aktenzeichen
EP09814375
Anmeldetag
29. Juni 2009
Veröffentlichung
25. März 2010
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/54B32B27/06C23C14/14C23C14/20C23C14/56C23C16/24C23C16/46C23C16/509H01L31/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fuji Electric Holdings Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fuji Electric

Japanischer Elektrotechnikkonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Leistungshalbleiter, Energieerzeugungsanlagen und industrielle Automatisierungstechnik.

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