Method for reducing temperature of substrate placing table, computer-readable storage medium, and substrate processing system

WO2010032708 Art A1 25. März 2010

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010032708
Aktenzeichen: EP09814553
Anmeldetag: 14. September 2009
Veröffentlichung: 25. März 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683C23C16/44H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von