Method for forming protective film on plasma display panel bases, and device for forming said protective film

WO2010032817 Art A1 25. März 2010

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010032817
Aktenzeichen: EP09814661
Anmeldetag: 18. September 2009
Veröffentlichung: 25. März 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/30H01J9/02H01J11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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