Micro-contact probe coated with nano-structure, and fabricating method thereof

WO2010032905 Art A1 25. März 2010

Anmelder: Korea Institute Of Machinery & Materials 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010032905
Aktenzeichen: EP09814721
Anmeldetag: 19. Februar 2009
Veröffentlichung: 25. März 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Institute Of Machinery & Materials
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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