Verfahren zur Leckprüfung einer Vakuumprozessanlage

WO2010034691 Art A1 1. April 2010

Anmelder: Inficon GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010034691
Aktenzeichen: EP09783249
Anmeldetag: 21. September 2009
Veröffentlichung: 1. April 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G01M3/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Inficon GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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