Method for production of zinc oxide (zno) film or magnesium zinc oxide (znmgo) film, and apparatus for production of zinc oxide film or magnesium zinc oxide film

WO2010035312 Art A1 1. April 2010

Anmelder: Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010035312
Aktenzeichen
EP08811114
Anmeldetag
24. September 2008
Veröffentlichung
1. April 2010
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation

Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.

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