Data processing device, data processing method, and check work support system using the same

WO2010035588 Art A1 1. April 2010

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010035588
Aktenzeichen
EP09816005
Anmeldetag
14. August 2009
Veröffentlichung
1. April 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66G01N21/956G01N23/225
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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