Data processing device, data processing method, and check work support system using the same
WO2010035588
Art A1
1. April 2010
Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010035588
- Aktenzeichen
- EP09816005
- Anmeldetag
- 14. August 2009
- Veröffentlichung
- 1. April 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66G01N21/956G01N23/225
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi High-Technologies Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
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