Illumination subsystems of a metrology system, metrology systems, and methods for illuminating a specimen for metrology measurements
WO2010037106
Art A2
1. April 2010
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010037106
- Aktenzeichen
- EP09817041
- Anmeldetag
- 29. September 2009
- Veröffentlichung
- 1. April 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/00G01N21/47G01B11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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